東莞無(wú)塵車(chē)間主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱(chēng)之為無(wú)塵車(chē)間。
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東莞無(wú)塵車(chē)間可以分為以下幾個(gè)級別:1級、百級、千級、萬(wàn)級、十萬(wàn)級、30萬(wàn)級、百萬(wàn)級。
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個(gè)以下,就達到了國際無(wú)塵標準的A級。
目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無(wú)塵標準對于灰塵的要求高于A(yíng)級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。
微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)?,這也就是業(yè)內俗稱(chēng)級別中的千級。
1)面積與生產(chǎn)相適應,布局合理,排水暢通。
2)車(chē)間地面用防滑、堅固、不透水、耐腐蝕的材料修建,且平坦、無(wú)積水、并保持清潔。
3)車(chē)間出口及與外界相連的排水、通風(fēng)處裝有防鼠、防蠅、防蟲(chóng)設施。
4)車(chē)間內墻壁、天花板和門(mén)窗使用無(wú)毒、淺色、防水、防霉、不脫落、易于清洗的材料修建。
5)無(wú)塵車(chē)間它利用空調技術(shù)、物理過(guò)濾、氣流組織、壓差控制等諸多技術(shù)手段,控制污染顆粒來(lái)控制微生物污染,從而對控制的環(huán)境對象建立一個(gè)完善的保障體系。