萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間亦稱(chēng)為無(wú)塵室或清凈室。它是污染控制的基礎,沒(méi)有無(wú)塵室,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。
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在FED-STD-2里面,無(wú)塵室被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。
無(wú)塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。
千級無(wú)塵室與萬(wàn)級無(wú)塵室的區別主要是潔凈度不同。潔凈室不同,換氣次數就不同,換氣次數不同,灰塵顆粒容量不一樣,過(guò)濾塵埃粒子就不同,風(fēng)量、百設備、造價(jià)就不同。千級無(wú)塵室級別比萬(wàn)級高,因此造價(jià)也高。
千級無(wú)塵車(chē)間的濕度要求是55±5%,千級無(wú)塵室5微米的灰塵顆粒小于5萬(wàn)個(gè)。
萬(wàn)級是指:一立方英尺度內不超過(guò)10000顆粒徑為0.5微米的塵埃。大或等于0.5微米的粒子數不得超過(guò)350000個(gè)(這個(gè)是1立方米),大或等于5微米的粒子數不得超過(guò)2000個(gè)
萬(wàn)級無(wú)塵室知對溫度、濕度無(wú)特殊要求時(shí),以穿著(zhù)潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜,溫度一般控制在冬季20~22℃;夏季 24~26℃;波動(dòng)±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30-50%,夏季潔凈室濕度控制在50-70%。