十萬(wàn)級無(wú)塵室之無(wú)塵室的特性：
（1）耐久性；（2）清洗；（3）成本；（4）適應性；（5）可維護性。
十萬(wàn)級無(wú)塵室之無(wú)塵室的耐久性
無(wú)塵室要有符合環(huán)境、無(wú)塵室內部的清洗溶液及振動(dòng)、設備、空氣過(guò)濾系統的耐久材料。而耐久性，同時(shí)也依賴(lài)無(wú)塵室等級來(lái)建造。半導體 Fabs 傾向選擇鋁，基于它的耐久性，然而，它不是便宜的物質(zhì)。
十萬(wàn)級無(wú)塵室之無(wú)塵室的清洗
在制藥和生物工學(xué)工業(yè)，無(wú)塵室的墻壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止濾過(guò)性病毒或細菌的污染之特性。在 biotech 市場(chǎng)，清洗真正地是一個(gè)最重要的企業(yè)。
十萬(wàn)級無(wú)塵室之無(wú)塵室的成本
微電子 C/R 建設費可能花費到億。fab 能更快的被建造起來(lái)，產(chǎn)品也就能更快達到這市場(chǎng)。許多半導體公司的口號是較便宜和較好的。然而 "錢(qián)" 將成為一個(gè)很重要的考慮因素。
十萬(wàn)級無(wú)塵室之無(wú)塵室的適應性
一些廠(chǎng)商認為適應性可節省一筆金錢(qián)，而適應性意指系統可任意移動(dòng)或改變而不會(huì )招致極大的損失。C/R 的擁有者和設計者的能力為改變一 C/R的關(guān)鍵，所以他們從不將最初的設計定型。
十萬(wàn)級無(wú)塵室之無(wú)塵室的維護性
對無(wú)塵室 C/R 而言，較嚴格要求的部分為地板、天花板，以及墻壁的部分。至于維修的問(wèn)題，對材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應有其優(yōu)先級。在應用力面、天花板、地板及墻壁三者之中最重要的為天花板，其包含　HEPA　及　ULPA　等濾網(wǎng)，其可過(guò)濾掉房間的微粒子，且其常會(huì )因各個(gè)不同的需要，便其分開(kāi)來(lái)，供應各個(gè)不同區域的小房間，曾有人說(shuō) ：若建造之預算因某種原因被限制，除了少數的小錢(qián)外，其天花板將趨于更貴的地步，其實(shí)天花板是一個(gè)頗復雜的系統其必須嚴格地過(guò)濾粒子，故其設計必須精確。
許多了解無(wú)塵室的人都贊同，第一次擁有無(wú)塵室的擁有者，應使用較好之C/R 建筑或工程設計公司或了解建筑　C/R　設計之建筑承包商若假設他們不了解， 則必會(huì )浪費一大筆不必要花的錢(qián)，故選擇一建造C/R 的公司也是非常重要的。
對 C/R 而言，其選擇地板的材料也是很重要的。低廉的 C/R 地板覆蓋著(zhù)一層乙烯基在薄板上，若太硬的地板覆蓋會(huì )引起塵埃，而太軟的地板會(huì )造成地板彎曲甚致破裂，但并不是所有 C/R 的地板，都會(huì )覆蓋，乙烯基。有些地板是沖孔式、格子式，而全面層流都是沖孔式。
乙烯基有一作用即脫氧，但高濃度乙烯基與其它物若混合的話(huà)將會(huì )有減低脫氧的效果，而無(wú)塵室的墻若以鋁作為材料則將會(huì )非常昂貴，但鋁卻可以保護墻面不被空氣所氧化，可是卻易受酸性氣體的侵蝕，而避免的方法是使用電鍍，便鋁表面增厚，不易氧化，再在鋁表面上再涂上一層亮光漆即可防止金屬氧化。
對于半導體工業(yè)而言，無(wú)塵室是一必要且不可缺之設備，其對空氣中的粒子要求非常之嚴格，故對天花板、墻壁、地板的要求亦非常嚴格。地板是人員、臺車(chē)及重量的運輸，而清除地板所用者大部分為消毒藥品及化學(xué)藥品，當我們看見(jiàn)地板磨損時(shí)，也就是使用期已太久，快破裂了，不僅會(huì )使得清靜度的降級，也會(huì )因地板的磨損而發(fā)生空氣中粒子的增加。
另外，C/R最怕的就是粒子泄漏。天花板中的濾網(wǎng)有很多種。例如層流式 C/R 而花板的組成組件包含了HEPA/ULPA 濾網(wǎng)組燈光組亦有可能包含空白的嵌板，這類(lèi)型的天花板優(yōu)點(diǎn)為，放置方式并沒(méi)有嚴格的限制。
C/R 之墻壁還有一種是以薄鋼制成，但必須在表層涂上一層保護層，否則亦會(huì )腐蝕，它并不容易電鍍，而在表層涂上的保護層會(huì )變得易碎，很容易剝落，但若選擇高質(zhì)量的不銹鋼，就不必涂上保護層7，而使用玻璃作的 C/R 會(huì )使得房間的光線(xiàn)大增，以及美觀(guān)，但必須涂上一抗紫外線(xiàn)的障礙物，且可以視覺(jué)互通，較不會(huì )產(chǎn)生幽閉恐懼癥。

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