東莞無(wú)塵車(chē)間的清洗事項介紹

　?。ㄒ唬?、RCA Method
　　1、DI Water 5min，有明顯粘污時(shí)用無(wú)塵布和酒精擦拭。
　　2、H2SO4:H2O2=3:1煮30min，去金屬、有機、油。
　　3、DI Water 5min。
　　4、BOE 2 min，去自然氧化層(Native Oxide)。
　　5、DI Water 5min。
　　6、Spin Dry。
　?。ǘ?、清洗事項：
　　1、有水則先倒水，H2O2最后倒，數字比為體積比。
　　2、有機與酸堿絕對不可混合，操作平臺也務(wù)必分開(kāi)使用。
　　3、酸堿溶液等冷卻后倒入回收槽，并以DI Water沖玻璃杯5 min。
　　4、酸堿空瓶以水清洗后，并依塑料瓶、玻璃瓶分開(kāi)置于室外回收筒。
　　5、氫氟酸會(huì )腐蝕骨頭，若碰到立即用葡萄酸鈣加水涂抹，再用清水沖洗干凈，并就醫。碰到其它酸堿則立即以DI Water大量沖洗。
　　6、清洗后之Wafer盡量放在DI Water中避免污染。
　　7、去除正光阻步驟為丙酮DI Water。
　　8、每個(gè)玻璃杯或槽都有特定要裝的溶液+蝕刻、清洗、電鍍、有機絕不能混合。
　　9、廢液回收分酸、堿、氫氟酸、有機四種，分開(kāi)回收并記錄，傾倒前先檢查廢棄物兼容性表，確定無(wú)誤再傾倒。
　　在東莞無(wú)塵車(chē)間工作的作業(yè)人員都必須掌握近幾期的操作知識及注意事項，這些也是有資格進(jìn)入東莞無(wú)塵車(chē)間工作的最基本常識，企業(yè)考核的標準內容。