無(wú)塵室的安全要求：

    一、無(wú)塵室須知

　　1. 進(jìn)入無(wú)塵室前，必須知會(huì )管理人，并通過(guò)基本訓練。

　　2. 進(jìn)入無(wú)塵室嚴禁吸煙，吃(飲)食，外來(lái)雜物(如報章，雜志，鉛筆...等)不可攜入，并嚴禁嘻鬧奔跑及團聚談天。

　　3. 進(jìn)入無(wú)塵室前，需在規定之處所脫鞋，將鞋置于鞋柜內，外衣置于衣柜內，私人物品置于私人柜內，柜內不可放置食物。

　　4.進(jìn)入無(wú)塵室須先在更衣室，將口罩，無(wú)塵帽，無(wú)塵衣以及鞋套按規定依程序穿戴整齊，再經(jīng)空氣洗塵室洗塵，并踩踏除塵地毯(洗塵室地板上)方得進(jìn)入。

　　5. 戴口罩時(shí)，應將口罩戴在鼻子之上，以將口鼻孔蓋住為原則，以免呼吸時(shí)污染芯片。

　　6. 穿著(zhù)無(wú)塵衣，無(wú)塵帽前應先整理服裝以及頭發(fā)，以免著(zhù)上無(wú)塵衣后，不得整理又感不適。

　　7. 整肅儀容后，先戴無(wú)塵帽，無(wú)塵帽的穿戴原則系:

　　(1)頭發(fā)必須完全覆蓋在帽內，不得外露。

　　(2)無(wú)塵帽之下擺要平散于兩肩之上，穿上工作衣后，方不致下擺脫出，裸露肩頸部。

　　8.無(wú)塵帽戴妥后，再著(zhù)無(wú)塵衣，無(wú)塵衣應尺吋合宜，才不致有褲管或衣袖太短而裸露皮膚之虞，穿衣時(shí)應注意帽之下擺應保平整之狀態(tài)，無(wú)塵衣不可反穿。

　　9. 穿著(zhù)無(wú)塵衣后，才著(zhù)鞋套，拉上鞋套并將鞋套整平，確實(shí)蓋在褲管之上。

　　10. 戴手套時(shí)應避免以光手碰觸手套之手掌及指尖處(防止鈉離子污染)，戴上手套后，應將手套之手腕置于衣袖內，以隔絕污染源。

　　11. 無(wú)塵衣著(zhù)妥后，經(jīng)洗塵，并踩踏除塵毯，方得進(jìn)入無(wú)塵室。

　　12. 不論進(jìn)入或離開(kāi)無(wú)塵室，須按規定在更衣室脫無(wú)塵衣，不可在其它區域為之，尤不可在無(wú)塵室內邊走邊脫。

　　13. 無(wú)塵衣，鞋套等，應定期清洗，有破損，脫線(xiàn)時(shí)，應即換新。

　　14. 脫下無(wú)塵衣時(shí)，其順序與穿著(zhù)時(shí)相反。

　　15. 脫下之無(wú)塵衣應吊好，并放于更衣室內上層柜子中;鞋套應放置于吊好的無(wú)塵衣下方。

　　16. 更衣室內小柜中，除了放置無(wú)塵衣等規定物品外，不得放置其它物品。

　　17. 除規定紙張及物品外，其它物品一概不得攜入無(wú)塵室。

　　18. 無(wú)塵衣等不得攜出無(wú)塵室，用畢放置于規定處所。

　　19. 口罩與手套可視狀況自行保管或重復使用。

　　20. 任何東西進(jìn)入無(wú)塵室，必須用灑精擦拭干凈。

　　21. 任何設備的進(jìn)入，請知會(huì )管理人，在無(wú)塵室外擦拭干凈，方可進(jìn)入。

　　22. 未通過(guò)考核之儀器，禁止使用，若遇緊急情況，得依緊急處理步驟作適當處理，例如關(guān)閉水、電、氣體等開(kāi)關(guān)。

　　23. 無(wú)塵室內絕對不可動(dòng)火，以免發(fā)生意外。

　　二、無(wú)塵室操作須知

　　1.  處理芯片時(shí)，必須戴上無(wú)纖維手套，使用清洗過(guò)的干凈鑷子挾持芯片，請勿以手指或其它任何東西接觸芯片，遭碰觸污染過(guò)的芯片須經(jīng)清洗，方得繼續使用：

　　(1) 任何一支鑷子前端(即挾持芯片端)如被碰觸過(guò)，或是鑷子掉落地上，必須拿去清洗請勿用紙巾或布擦拭臟鑷子。

　　(2) 芯片清洗后進(jìn)行下一程序前，若被手指碰觸過(guò)，必須重新清洗。

　　(3)把芯片放置于石英舟上，準備進(jìn)爐管時(shí)，若發(fā)現所用鑷子有污損現象或芯片上有顯眼由鑷子所引起的污染，必須將芯片重新清洗，并立即更換干凈的鑷子使用。

　　2. 芯片必須放置盒中，蓋起來(lái)存放于規定位置，盡可能不讓它暴露。

　　3.避免在芯片上談話(huà)，以防止唾液濺于芯片上，在芯片進(jìn)擴散爐前，請特別注意，防止上述動(dòng)作產(chǎn)生，若芯片上沾有纖維屑時(shí)，用氮氣槍噴之。

　　4. 從鐵弗龍(Teflon)晶舟，石英舟(QuartzBoat)等載具(Carrier)上，取出芯片時(shí)，必須垂直向上挾起，避免刮傷芯片，顯微鏡鏡頭確已離芯片，方可從吸座上移走芯片。

　　5. 芯片上，若已長(cháng)上氧化層，在送黃光室前切勿用鉆石刀在芯片上刻記。

　　6. 操作時(shí)，不論是否戴上手套，手絕不能放進(jìn)清洗水槽。

　　7. 使用化學(xué)站或烤箱處理芯片時(shí)，務(wù)必將芯片置放于鐵弗龍晶舟內，不可使用塑料盒。

　　8. 擺置芯片于石英舟時(shí)，若芯片掉落地上或手中則必須重新清洗芯片，然后再進(jìn)氧化爐。

　　9. 請勿觸摸芯片盒內部，如被碰觸或有碎芯片污染，必須重作清洗。

　　10. 手套，廢紙及其它雜碎東西，請勿留置于操作臺，手套若燒焦、磨破或纖維質(zhì)變多必須換新。

　　11. 非經(jīng)指示，絕不可開(kāi)啟不熟悉的儀器及各種開(kāi)關(guān)閥控制鈕或把手。

　　12. 奇怪的味道或反應異常的溶液，顏色，聲響等請即通知相關(guān)人員。

　　13. 儀器因操作錯誤而有任何損壞時(shí)，務(wù)必立刻告知負責人員或老師。

　　14. 芯片盒進(jìn)出無(wú)塵室須保持干凈，并以保鮮膜封裝，違者不得進(jìn)入。

　　15. 無(wú)塵室內一律使用原子筆及無(wú)塵筆記本做記錄，一般紙張與鉛筆不得攜入。

　　三、黃光區操作須知

　　1. 濕度及溫度會(huì )影響對準工作，在黃光區應注意溫度及濕度，并應減少對準機附近的人，以減少濕、溫度的變化。

　　2. 上妥光阻尚未曝光完成之芯片，不得攜出黃光區以免感光。

　　3. 己上妥光阻，而在等待對準曝光之芯片，應放置于不透明之藍黑色晶盒之內， 盒蓋必須蓋妥。

　　4. 光罩使用時(shí)應持取邊緣，不得觸及光罩面，任何狀況之下，光罩鉻膜不得與他物接觸，以防刮傷，光罩之落塵可以氮氣槍吹之。

　　5. 曝光時(shí)，應避免用眼睛直視曝光機汞燈。

　　四、鑷子使用須知

　　1. 進(jìn)入實(shí)驗室后，應先戴上手套后，再取鑷子，以免沾污。

　　2. 唯有使用干凈的鑷子，才可持取芯片，鑷子一旦掉在地上或被手觸碰，或因其它原因而遭污染，必須拿去清洗，方可再使用。

　　3. 鑷子使用后，應放于各站規定處，不可任意放置，如有特殊制程用鑷子，使用后應自行保管，不可和實(shí)驗室內各站之鑷子混合使用。

　　4. 持鑷子應采"握筆式"姿勢挾取芯片。

　　5. 挾取芯片時(shí)，順序應由后向前挾取，放回芯片時(shí)，則由前向后放回，以免刮傷芯片表面。

　　6. 挾取芯片時(shí)，"短邊" (鋸狀頭)置于芯片正面，"長(cháng)邊" (平頭)置于芯片背面，挾芯片空白部分，不可傷及芯片。

　　7. 嚴禁將鑷子接觸酸槽或D.I Water水槽中。

　　8. 鑷子僅可做為挾取芯片用，不準做其它用途。

　　五、化學(xué)藥品使用須知

　　1. 化學(xué)藥品的進(jìn)出須登記，并知會(huì )管理人，并附上物質(zhì)安全資料表（MSDS）于實(shí)驗室門(mén)口。

　　2. 使用化學(xué)藥品前，請詳讀物質(zhì)安全資料表(MSDS)，并告知管理人。

　　3. 換酸前必先穿著(zhù)防酸塑料裙，戴上防酸長(cháng)袖手套，頭戴護鏡，腳著(zhù)塑料防酸鞋，始可進(jìn)行換酸工作。

　　4. 不得任意打開(kāi)酸瓶的蓋子，使用后立即鎖緊蓋子。

　　5. 稀釋酸液時(shí)，千萬(wàn)記得加酸于水，絕不可加水于酸。

　　6. 勿嘗任何化學(xué)藥品或以嗅覺(jué)來(lái)確定容器內之藥品。

　　7. 不明容器內為何種藥品時(shí)，切勿搖動(dòng)或倒置該容器。

　　8. 所有化學(xué)藥品之作業(yè)均須在通風(fēng)良好或排氣之處為之。

　　9. 操作各項酸液時(shí)須詳讀各操作規范。

　　10. 酸類(lèi)可與堿類(lèi)共同存于有抽風(fēng)設備的儲柜，但絕不可與有機溶劑存放在一起。

　　11. 廢酸請放入廢酸桶，不可任意傾倒，更不可與有機溶液混合。

　　12. 廢棄有機溶液置放入有機廢液桶內，不可任意傾倒或倒入廢酸桶內。

　　13. 勿任意更換容器內溶液。

　　14.欲自行攜入之溶液請事先告知經(jīng)許可后方可攜入，如果欲自行攜入之溶液具有危險性時(shí)，必須經(jīng)評估后方可攜入，并請于容器上清楚標明容器內容物及保存期限。

　　15. 廢液處理：廢液分酸、堿、氫氟酸、有機、等，分開(kāi)處理并登記，回收桶標示清楚，廢液桶內含氫氟酸等酸堿，絕對不可用手觸碰。

　　16.漏水或漏酸處理：漏水或漏酸時(shí)，為確保安全，絕對不可用手觸碰，先將電源總開(kāi)關(guān)與相關(guān)閥門(mén)關(guān)閉，再以無(wú)塵布或酸堿吸附器處理之，并報備管理人。

　　六、化學(xué)工作站操作

　　1.   操作時(shí)須依規定，戴上橡皮手套及口罩。

　　2.   不可將塑料盒放入酸槽或清洗槽中。

　　3.   添加任何溶液前，務(wù)必事先確認容器內溶劑方可添加。

　　4.  在化學(xué)工作站工作時(shí)應養成良好工作姿勢，上身應避免前傾至化學(xué)槽及清洗槽之上方，一方面可防止危險發(fā)生，另一方面亦減少污染機會(huì )。

　　5.   化學(xué)站不操作時(shí)，有蓋者應隨時(shí)將蓋蓋妥，清洗水槽之水開(kāi)關(guān)關(guān)上。

　　6.  化學(xué)藥品濺到衣服、皮膚、臉部、眼睛時(shí)，應即用水沖洗濺傷部位15分鐘以    上，且必須皮膚顏色恢復正常為止，并立刻安排急救處理。

　　7.   化學(xué)品外泄時(shí)應迅速反應，并做適當處理，若有需要撤離時(shí)應依指示撤離。

　　8.   各化學(xué)工作站上使用之橡皮手套，避免觸碰各機臺及工作臺，及其它器具等物，一般操作請戴無(wú)塵手套。

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