無(wú)塵車(chē)間都有哪些分類(lèi):

1、亂流式：

　　 空氣由空調箱經(jīng)風(fēng)管與無(wú)塵車(chē)間內之空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由無(wú)塵車(chē)間兩側隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線(xiàn)型運動(dòng)而呈不規則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。

　　2、層流式：

　　 層流式空氣氣流運動(dòng)成一均勻之直線(xiàn)形，空氣由覆蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級需求較高之環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：

　　(1)無(wú)塵車(chē)間水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。

　　(2)無(wú)塵車(chē)間垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì )影響其它工作區域。

　 　3、復合式：

　　 復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

　　(1)無(wú)塵車(chē)間潔凈隧道：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴充容易； B.維修設備時(shí)可在維修區輕易執行。

　　(2)無(wú)塵車(chē)間潔凈管道：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。

　　(3)無(wú)塵車(chē)間并裝局部潔凈室：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產(chǎn)品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用；即屬此類(lèi)。

      (4)Class 1~100無(wú)塵車(chē)間對溫度，濕度，風(fēng)速的要求

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