1、半導體集成電路要求的空氣潔凈度等級

集成電路生產(chǎn)環(huán)境要求的空氣潔凈度等級主要取決于集成電路的集成度，不同工序的空氣潔凈度等級是依據可能污染的概率和對器件的潛在故障確定的。

舉例說(shuō)明：

例一、某廠(chǎng)集成電路前工序潔凈廠(chǎng)房，無(wú)塵車(chē)間設計按加工、生產(chǎn)6英寸硅片、1M集成電路，圖形特形尺雨1.0um，控制粒子粒徑0..1um.

無(wú)塵車(chē)間空氣潔凈度等級要求：

光刻、勻膠區                                                                          ISO 3級

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等操作區                      ISO 3級

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等維修區                      ISO 5級

例二、某廠(chǎng)集成電路前工序潔凈廠(chǎng)房，無(wú)塵車(chē)間設計按加工、生產(chǎn)5英寸硅片、256K集成電路、圖形特形尺雨2.0um，控制粒子粒徑0.2um.

無(wú)塵車(chē)間工程空氣潔凈度等級要求：

光刻、勻膠區                                                                           ISO 3級

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等操作區                       ISO 4級

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等維修區                       ISO 6級

2、一些電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級

隨著(zhù)信息產(chǎn)業(yè)技術(shù)的發(fā)展，許多電子產(chǎn)品性能、質(zhì)量的提高和生產(chǎn)過(guò)程的微細化，日益要求生產(chǎn)環(huán)境具有一定的空氣潔凈度等級和控制無(wú)塵車(chē)間內工藝生產(chǎn)所需的各類(lèi)高純物質(zhì)的供給質(zhì)量，目前國內外還沒(méi)有統一電子產(chǎn)品的空氣潔凈度等級或生產(chǎn)環(huán)境控制要求的統一規定，各種電子產(chǎn)品的生產(chǎn)廠(chǎng)家依據其生產(chǎn)的產(chǎn)品品種、所采用的生產(chǎn)工藝技術(shù)、生產(chǎn)工藝設備、生產(chǎn)用原輔料以及無(wú)塵車(chē)間運行的實(shí)踐經(jīng)驗確定設計建造無(wú)塵車(chē)間的空氣潔凈度等級。

舉例說(shuō)明：

例一、薄膜晶體管彩色液晶顯示器生產(chǎn)用無(wú)塵車(chē)間，TFT-LCD具有體積小、質(zhì)量輕、易攜帶、耗電低、色彩逼真、大容量、高分辨示等優(yōu)點(diǎn)。

各無(wú)塵車(chē)間空氣潔凈度等級，控制粒子粒徑為0.3um

清洗、涂膠、曝光間                                                                 ISO 4級

顯影、刻蝕間                                                                             ISO 5級

成盒間                                                                                         ISO 5級

濺射、CVD間                                                                             ISO 6級

例二、某高密度磁帶生產(chǎn)用潔凈廠(chǎng)房、無(wú)塵車(chē)間控制微粒粒徑0.5um

各無(wú)塵車(chē)間的空氣潔凈度等級要求

涂布頭                                                                                          ISO 5級

備件、切帶、帶基、測試、涂布間和烘干、固化間              ISO 6級

組裝、維修間和部分原料庫                                                      ISO 7級

砂磨、化驗間和配件間                                                              ISO 8級

成品庫和部分原料庫                                                                  準潔凈間

3、精密機械、精細化工等產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級

例一、一個(gè)陀螺儀生產(chǎn)用無(wú)塵車(chē)間工程

無(wú)塵車(chē)間空氣潔凈度等級要求

裝配間                                                                                            ISO  6級

軸承加工間                                                                                    ISO  5級

例二、一個(gè)感光膠片生產(chǎn)用無(wú)塵車(chē)間

流延機頭部，涂布機頭部                                                             ISO 5級

涂布室，流延機室                                                                         ISO 6級

等等......