十萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間是指每立方米空氣中直徑大于等于0.5微米的顆粒數量少于10萬(wàn)個(gè)的車(chē)間。
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這種車(chē)間廣泛應用于微電子、制藥、生物工程等領(lǐng)域,其建設標準主要包括以下幾個(gè)方面:
空氣潔凈度要求:按照ISO 14644-1標準中的ISO 8級別要求,每立方米空氣中的固體顆粒物數量不超過(guò)3,520,000個(gè)(粒徑大于0.5微米)。
空氣流速要求:車(chē)間內應保持適當的空氣流速,以確??諝獾难h(huán)和過(guò)濾,根據不同的工藝要求和設備設置,通常的空氣流速范圍為0.25~0.45米/秒。
溫濕度控制要求:無(wú)塵車(chē)間的溫度通常在20~24攝氏度之間,相對濕度控制在45%~60%之間,以提供舒適的工作環(huán)境,并對產(chǎn)品質(zhì)量和工藝過(guò)程有利。
壓差要求:相同潔凈度等級的潔凈車(chē)間之間的壓差需要保持一致,不同潔凈等級的相鄰車(chē)間,壓差要大于等于5pa,潔凈車(chē)間和非潔凈車(chē)間之間的壓差要大于等于10pa。
密封性要求:十萬(wàn)級凈化電子無(wú)塵車(chē)間采用了嚴格的密封措施,以防止外界污染物進(jìn)入潔凈區域,車(chē)間的門(mén)、窗和通風(fēng)口等部位均采用特殊的密封材料和密封結構,確保室內空氣的純凈度。