萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間主要之作用在于控制商品(如硅芯片等)所觸摸的大氣的潔凈度以及溫濕度,使商品能在一個(gè)杰出之環(huán)境空間中出產(chǎn)、制作,此空間咱們稱(chēng)之為萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間。
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按照國際慣例,無(wú)塵凈化等級主要是依據每立方米空氣中粒子直徑大于區分規范的粒子數量來(lái)規則,也即是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)塵埃,而是控制在一個(gè)十分微量的單位上。
當然這個(gè)規范中契合塵埃規范的顆粒相關(guān)于咱們多見(jiàn)的塵埃已經(jīng)是小的微乎其微,可是關(guān)于光學(xué)結構而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的塵埃都會(huì )發(fā)生十分大的負面影響,所以在光學(xué)結構商品的出產(chǎn)上,萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間無(wú)塵是必定的請求。
萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數量控制在3500個(gè)以下,就達到了國際無(wú)塵規范的A級。
目前萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間應用在芯片級出產(chǎn)加工的無(wú)塵規范關(guān)于塵埃的請求高于A(yíng)級,這么的高標主要被應用在一些等級較高芯片出產(chǎn)上。
5μm及以下的微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)?,這也即是業(yè)內俗稱(chēng)的1K等級。